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已经研究了四十多年!但距世界先进水平还有很大差距 , 之所以存在这个问题 , 是综合国力问题 , 1977年我国正处于改革开放前夕 , 虽然在科研方面我国成功研发出了第一台接触式光刻机 , 但是综合国力尚且还很薄弱 , 国家处于转弯阶段 , 从政策到力量到支持都不足以支撑光刻机技术继续研发下去 。
【3纳米光刻机研究了多久】
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