文章插图
光刻机涉及光学、机械、化学、数学等多学科 。
整个光刻机的研发中涉及众多科学体系，比如光学、数学、有机化学、流体动力学、高分子物理学等 。集合了精密光电设备、机械设备、仪器仪表、自动化技术、图像识别等多行业顶级技术 。尤其像euv、duv光刻机内部近十万零部件都是集合了众多高科技公司的最先进技术 。
【光刻机是属于什么科学】
文章插图
光刻机涉及光学、机械、化学、数学等多学科 。
整个光刻机的研发中涉及众多科学体系，比如光学、数学、有机化学、流体动力学、高分子物理学等 。集合了精密光电设备、机械设备、仪器仪表、自动化技术、图像识别等多行业顶级技术 。尤其像euv、duv光刻机内部近十万零部件都是集合了众多高科技公司的最先进技术 。
【光刻机是属于什么科学】